| 发明名称 |
Catadioptric optical reduction system with high numerical aperture |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0608572(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.02 |
| 申请号 |
EP19930121146 |
申请日期 |
1993.12.30 |
| 申请人 |
SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. |
发明人 |
WILLIAMSON, DAVID W. |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;(IPC1-7):G02B17/08 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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