模拟雷射光点放大

摘要

本发明将一快速操纵面镜(30)(例如PMN制动式的面镜)放置于以处理级为基础之定位系统(40)的光束路径(18)之中，以便以标称的目标位置(60)为中心，以高速的预定图案来连续移动雷射光束，以便于空间中分散以极高之雷射重覆速率所产生之聚焦雷射光点(48)，从而产生出尺寸大于该聚焦雷射光点(48)之尺寸的几何特征。本发明可让特定重覆速率的一连串雷射光点(48)以较低脉冲速率之一连串较大直径的雷射光点型式出现，而不会产生与失焦相关的光束品质问题。