线宽测定方法及线宽测定装置

摘要

【课题】本发明系用以提供一种可不受限于待测试料之图样断面形状，而可直接并正确地测定图样底侧长度之线宽测定装置。【解决手段】本发明之线宽设定装置设有用以投影透明基板上之被测定物的光学显微镜；及可用以将已被投影之被测定物摄影后，转换为影像信号之摄影部；本装置可将影像信号加以演算处理以测定被测定物，并设有可使该透明基板保持为略垂直之固定台，且该光学显微镜系由该透明基板之里侧投影被测定物。