发明名称 电浆显示面板
摘要 本发明之目的在提高,设在电浆显示面板之电极保护膜之耐溅射性,或放出二次电子之特性。本发明之备有配线连接显示电极7之前面板9,及配线连接位址电极3之背面板4,藉由形成在前面板9与背面板4间之放电气体空间之放电,显示画像之电浆显示面板,将覆盖设在上述前面板9之电介体层6之由金属氧化物构成之保护膜5,构成如下。亦即,该保护膜5具有,其向垂直于上述电介体层6与保护膜5之界面方向延伸之柱状组织,成相互接触且紧密填充之构造,此柱状组织在基板面积之每1μm2形成有400个以上。
申请公布号 TW573308 申请公布日期 2004.01.21
申请号 TW090121692 申请日期 2001.08.31
申请人 日立制作所股份有限公司 发明人 山博司;加藤明;鬼泽贤一;村哲郎;上谷 一夫;井原靖;泷川志朗;能势 功一;床本 勋;小泉 康浩
分类号 H01J9/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种电浆显示面板,系备有配线连接显示电极之前面板,及配线连接位址电极之背面板,可藉由形成在前面板与背面板间之放电气体空间之放电,显示画像之交流型电浆显示面板,其特征在于,具备有,覆盖设在上述前面板之电介体层之由金属氧化物构成之保护膜,该保护膜具为,其向垂直于上述电介体层与该保护膜之界面方向延伸之柱状组织,成相互接触且紧密填充之构造,此柱状组织在基板面积之每1m2形成有400个以上,做为前述保护膜形成之膜的膜厚为600nm以下者。2.如申请专利范围第1项之电浆显示面板,其中,上述柱状组织在基板面积之每1m2形成有500个以上,做为前述保护膜形成之膜的膜厚为100nm以下者。3.如申请专利范围第1项之电浆显示面板,其中,上述柱状组织从其与上述基板之界面至膜之表面,形成为一连之结晶组织。4.如申请专利范围第1项之电浆显示面板,其中,上述金属氧化物系氧化镁。5.如申请专利范围第1项之电浆显示面板,其中,形成为上述保护膜之膜,系由基板表面之法线方向之结晶轴,由<111>、<220>、<100>、<311>所成之群中选择之一个或两个以上所形成。图式简单说明:第1图(a)系表示对应交流型电浆显示面板之一像素之部分之图,(b)系表示在第1图(a)之I-I线之箭头方向所视之图。第2图(a)系表示实施例1之保护膜之表面之观察像之显微镜照片,(b)系表示实施例2之保护膜之表面之观察像之显微镜照片。第3图系表示比较例之保护膜之表面之观察像之显微镜照片。第4图(a)系表示实施例1之保护膜之表面及截面之观察像之显微镜照片,(b)系表示实施例2之保护膜之表面及截面之观察像之显微镜照片。第5图系表示比较例之保护膜之表面及截面之观察像之显微镜照片。第6图(a)系放出二次电子之特性评估装置之概略图,(b)系表示放出二次电子之特性之测量结果之曲线图。
地址 日本