放射线感应性树脂组成物

摘要

本发明提供一种放射性感应性树脂组成物，此树脂组成物含有：(A)含(a1)由不饱和羧酸所衍生之构造单元及(a2)由具有氧杂环丁烷基之不饱和化合物(排除不饱和羧酸。)所衍生之构造单元之共聚物，(B)苯二叠氮化合物，以及(C)肆(五氟苯基)硼酸根阴离子与阳离子之盐所构成之阳离子聚合起始剂；本发明进而提供由该树脂组成物所形成之透明硬化树脂图案，以及包括：于基板上形成该树脂组成物所构成之层，透过光罩将上述之层曝光后，显像以形成图案，对其全面以放射线照射之后，予以加热之透明硬化树脂图案之制造方法。