晶圆缺陷侦测系统及方法

摘要

一种晶圆缺陷侦测系统及方法，利用原始设计之电路图案资料库为资料输入，模拟出虚拟影像(Aerial Image)或加入曝光条件的曝光影像(Modeling Image)，与实际之数位晶圆影像(Wafer Image)比较，藉以侦测出晶圆缺陷。