光电二极体阵列及其制造方法,及放射线检测器

摘要

一种光电二极体阵列及其制造方法以及放射线检测器，其课题为防止在封装时因光检测部之损伤而造成杂音之发生。一种光电二极体阵列，系在n型矽基板(3)之被检测光的入射面侧，以阵列状形成复数个光电二极体(4)，且贯通入射面侧与其背面侧之贯通配线(8)系形成在光电二极体(4)，在其入射面侧，设置比各光电二极体(4)的形成区域更凹陷之具有规定深度之凹部(6)，在其凹部(6)设置光电二极体(4)以形成光电二极体阵列(1)。