发明名称 PROCEDE DE MESURE ELLIPSOMETRIQUE AVEC RESOLUTION SPATIALE
摘要
申请公布号 FR2837573(B1) 申请公布日期 2005.01.28
申请号 FR20010016610 申请日期 2001.12.20
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS 发明人 AUSSERRE DOMINIQUE;VALIGNAT MARIE PIERRE
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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