金属层厚度量测方法

摘要

一种金属层厚度量测方法，用于量测复数层叠于一基层上之金属层，该等金属层包含一远离基层之第一金属层，以及一位于第一金属层邻近基层侧之第二金属层。首先于第一金属层上形成一阻隔层，阻隔层能界定出一局部显露第一金属层远离基层之表面的特定范围；然后移除第一金属层位于特定范围之部分，使第一金属层之其余部分能界定出局部显露第二金属层远离基层之表面的特定范围；因此便能藉由量测第一金属层远离基层之表面与第二金属层远离基层之表面的高度差，以获得第一金属层之厚度。而当特定范围包含复数间隔分布之独立区域时，则能藉此获得整个基层表面上金属层之厚度分布状况。