发明名称 |
一种AlTiCrN高温耐磨涂层及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种AlTiCrN高温耐磨涂层及其制备方法,属于真空技术领域。涂层结构为AlTi结合层、AlTiN过渡层和AlTiCrN主耐磨层;结合层附着在硬质合金上,厚度为0.0001~1微米,成分为Al 50~67at.%,Ti 33~50at.%;过渡层附着在结合层上,厚度为0.5~2微米,成分为Al 25~35at.%,Ti 15~25at.%,N 40~60at.%;主耐磨层附着在过渡层上,厚度为1~3微米,成分为Al 10~30at.%,Ti 10~20at.%,Cr 1~30at.%,N 49~60at.%;其中结合层和过渡层由高功率脉冲磁控溅射技术制备;主耐磨层由高功率和直流脉冲磁控溅射复合涂层技术制备。所述AlTiCrN涂层硬度高、摩擦系数低、内应力低、结合强度高、高温稳定性好、高温摩擦磨损抗力高,具有该涂层的零件适用于高摩擦磨损场合,可大幅度提高零件使用寿命。 |
申请公布号 |
CN106086806A |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
申请号 |
CN201610685235.8 |
申请日期 |
2016.08.18 |
申请人 |
兰州空间技术物理研究所 |
发明人 |
郑军;周晖;王启民;贵宾华;杨拉毛草;耿东森 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
李爱英;杨志兵 |
主权项 |
一种AlTiCrN高温耐磨涂层,其特征在于:所述涂层由AlTi结合层(2)、AlTiN过渡层(3)和AlTiCrN主耐磨层(4)构成;AlTi结合层(2)附着在硬质合金(1)上,厚度为0.1纳米~1微米,成分为:Al 50~67at.%,Ti 33~50at.%;AlTiN过渡层(3)附着在AlTi结合层(2)上,厚度为0.5~2微米,成分为:Al 25~35at.%,Ti 15~25at.%,N 40~60at.%;AlTiCrN主耐磨层(4)附着在AlTiN过渡层(3)上,厚度为1~3微米,成分为:Al 10~30at.%,Ti 10~20at.%,Cr 1~30at.%,N 49~60at.%;其中AlTi结合层(2)和AlTiN过渡层(3)由高功率脉冲磁控溅射技术制备,AlTiCrN主耐磨层(4)是采用高功率脉冲磁控溅射和直流脉冲磁控溅射复合涂层技术制备。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 |