| 主权项 |
1.一种蒸镀设备,包含有:一真空系统,具有相连通之一第一真空室与一第二真空室,以及一开关系做为控制该第一真空室与该第二真空室相通与否使用;一设置于该第一真空室中的喂料装置,该喂料装置具有一供收纳蒸镀源的储料容器及一导料机构,该导料机构在该第一真空室与该第二真空室相通时,可将蒸镀源往该第二真空室递送;至少一设置于该第二真空室中的加热装置,该加热装置适于收容来自该喂料装置的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化。2.依据申请专利范围第1项所述之蒸镀设备,其中该喂料装置之储料容器底部具有一开口,该导料机构具有一位于该储料容器下方的集料筒及一与该集料筒相通的引料轨道,该集料筒收集自该储料容器开口落下的蒸镀源,该引料轨道朝外朝下延伸形成,并可将集料筒中的蒸镀源引送至该加热装置。3.依据申请专利范围第2项所述之蒸镀设备,其中该喂料装置更包含有一分料机构,该分料机构具有一中心轴、数叶片与一第一动力源,该中心轴穿设于该储料容器中,各该叶片与该中心轴固接且将该储料容器区分成数个可供收容蒸镀源的容槽,该第一动力源系用以驱使该中心轴产生转动,在容槽与该开口对应时,容槽内的蒸镀源将掉落至该集料筒中。4.依据申请专利范围第2项所述之蒸镀设备,其中该第二真空室中装设有数加热装置,该导料机构更包括有一第二动力源,该第二动力源系可驱使该集料筒产生转动,藉以改变该引料轨道与不同位置的加热装置对应设置。5.依据申请专利范围第2项所述之蒸镀设备,其中该导料机构之引料轨道具有伸缩功能。6.依据申请专利范围第1项所述之蒸镀设备,更包括有一检知感应器,用以检测该储料容器内的蒸镀源存量。7.依据申请专利范围第1项所述之蒸镀设备,其中该第一真空室的容积小于该第二真空室的容积。图式简单说明:第一图系习用蒸镀设备之简易示图。第二图系另一习用蒸镀设备之简易示图。第三图系上述另一习用蒸镀设备之喂料装置示意图。第四图系本创作一较佳实施例之侧面示意图,揭示第一真空室与第二真空室之间未相通。第五图系本创作上述较佳实施例之顶面示意图。第六图系本创作喂料装置之立体示意图。第七图类同第四图,揭示第一真空室与第二真空室之间相连通。第八图系第七图之顶面示意图。第九图系本创作之另一应用例,说明第二真空室中设置有数个加热装置。 |
