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发明名称 DEVICE NET PROTECTIVE CASE OF THE SYSTEM FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100517146(B1) 申请公布日期 2005.09.26
申请号 KR20030006758 申请日期 2003.02.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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