镀膜源、真空镀膜装置、有机EL面板的制造方法及有机EL面板FILM FORMATION SOURCE, VACUUM FILM FORMATION APPARATUS, ORGANIC EL PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

摘要

本发明可实现获得良好的图案形成精度或者膜厚均匀性的镀膜。一种在基板(1)的被镀膜面(1a)上形成薄膜的真空镀膜装置的镀膜源(10)，具有：材料容纳部(11)，其容纳镀膜材料；加热装置(12)，其对材料容纳部(11)内的镀膜材料进行加热；以及镀膜流控制部(13)，其设置在材料容纳部(11)的喷出口，控制镀膜流的方向；镀膜流控制部(13)使镀膜流在被镀膜面(1a)相对镀膜源(10)的移动方向(X方向)上具有强指向性。