| 摘要 |
一种用以控制设置于二真空室间之真空阀之方法，该真空阀包括：一具阀开口(2)之阀体(1)；封闭件(4)，其于真空阀关闭状态时，封闭阀开口且于真空阀开放状态时开放阀开口，在此，真空阀于关闭状态时，为以封闭件封闭阀开口，至少一弹性密封件(5)置于真空阀之密封面(8)上，当其空阀于关闭状态时，有一压力施于密封件上；一作动装置，以至少一致动器(9、25、30)开放及关闭真空阀，为关闭真空阀，致动器将密封件压于密封面上，另外具一控制单元(11)，控制所述之至少一致动器，控制单元之输入讯号系为压力感测器(14、15)量得之压力量测值，压力感测器量取二真空室个别之压力；在此，控制单元算出二真空室间之压差，且当真空阀于关闭状态时，控制单元依算出之压差，藉由驱动至少一致动器，作用于密封件上之压力大小得以控制。 |
