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发明名称
WAFER BOAT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060019147(A)
申请公布日期
2006.03.03
申请号
KR20040067637
申请日期
2004.08.26
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIN, HEE SEOK
分类号
H01L21/02;H01L21/68
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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