微区块涂布装置及其方法

摘要

一种微区块涂布装置,藉由一驱动机构控制数个导管及一待涂布基板平行相对移动,并将导管内之微多相流推向导管之出口端,涂布在基板上,以形成微区块图案。该微多相流系由多个主要流体及一次要流体相互截断形成。在另一实施例中,该导管为一涂布模组所取代,涂布模组内部形成微通道结构,其包括有至少一主要流体入口及至少一次要流体入口,可分别供应主要流体及次要流体,在微通道结构中相互截断形成微多相流。