| 发明名称 |
substrate boat and Cluster Apparatus Including The Same |
| 摘要 |
본 발명은 기판 적재 유닛을 제공한다. 본 발명의 기판 적재 유닛은 수직하게 설치되는 복수개의 수직로드; 상기 복수개의 수직로드에 길이 방향으로 소정 간격마다 설치되어 기판 저면을 지지하는 지지부를 포함하되; 상기 지지부는 기판 저면과 접촉하는 지지면에 희석용 가스가 분출되는 분사홀을 제공한다. |
| 申请公布号 |
KR101677591(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.22 |
| 申请号 |
KR20150081725 |
申请日期 |
2015.06.10 |
| 申请人 |
KOOKJE ELECTRIC KOREA CO., LTD. |
发明人 |
LEE, SOUNG KWANG |
| 分类号 |
H01L21/673 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
