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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT KOMPLEMENTAEREN FELDEFFEKT-TRANSISTOREN
摘要
申请公布号 DE2352762(A1) 申请公布日期 1974.05.16
申请号 DE19732352762 申请日期 1973.10.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 SHIH CHANG,CHI;JEN,TEH-SEN
分类号 H01L21/331;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/00;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L19/00 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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