发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES AUTO-ALIGNES ET DISPOSITIFS EN RESULTANT
摘要
申请公布号 FR2326038(A1) 申请公布日期 1977.04.22
申请号 FR19760026312 申请日期 1976.08.25
申请人 IBM 发明人 ANATOL FURMAN, HOWARD L. KALTER ET JOHANN W. NAGEL;KALTER HOWARD L;NAGEL JOHANN W
分类号 H01L27/10;G11C11/24;G11C11/35;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/07;H01L27/088;H01L27/108;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/82;H01L27/06;G11C11/34 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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