| 摘要 |
본 발명은 단결정을 성장시키기 위해 원료를 용융시키고, 용융된 원료로부터 시드 결정을 중심으로 단결정으르 성장시키는 단결정 성장장치 및 성장방법에 관한 것이다. 복수의 도가니를 갖는 단결정 성장장치는, 내부 공간을 갖는 챔버; 챔버 내부에 배치되는 단열재; 단열재 내부에 배치되어 원료가 장입되고, 길이방향 또는 폭 방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 복수개의 도가니가 인접하여 배치되는 도가니군; 도가니의 길이방향 또는 폭 방향 중 적어도 어느 하나에 배치되어 원료를 용융시키는 복수의 히터; 및 도가니 각각의 하부에 각각 구비되는 복수의 냉각로드; 를 포함한다. 이에 의해, 동시에 대량의 단결정을 성장시킬 수 있고, 하나의 중간히터로 인접한 복수의 도가니를 가열하므로 히터의 효율을 높일 수 있다. |
