发明名称 MANUFACTURE OF ULTRA HIGH FREQUENCY SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5394768(A) 申请公布日期 1978.08.19
申请号 JP19770008768 申请日期 1977.01.31
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 KAWASAKI RIYOUJI
分类号 H01L47/02;H01L21/50;H01L23/12;H01L29/864 主分类号 H01L47/02
代理机构 代理人
主权项
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