发明名称 |
MANUFACTURE OF ULTRA HIGH FREQUENCY SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5394768(A) |
申请公布日期 |
1978.08.19 |
申请号 |
JP19770008768 |
申请日期 |
1977.01.31 |
申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
KAWASAKI RIYOUJI |
分类号 |
H01L47/02;H01L21/50;H01L23/12;H01L29/864 |
主分类号 |
H01L47/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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