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发明名称 DRIER FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS53138278(A) 申请公布日期 1978.12.02
申请号 JP19770053357 申请日期 1977.05.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOKOYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/304;H01L21/302;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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