| 发明名称 | 处理装置 | ||
| 摘要 | 实施方式的处理装置具备：载置台，能够供试样载置；旋转机构，使载置台旋转；第1喷嘴，对试样喷射物质；以及第2喷嘴，对试样的旋转中心供给液体。 | ||
| 申请公布号 | CN106057703A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201510555732.1 | 申请日期 | 2015.09.02 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 鹰野正宗 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 张世俊 |
| 主权项 | 一种处理装置，其特征在于具备：载置台，能够供试样载置；旋转机构，使所述载置台旋转；第1喷嘴，对所述试样喷射物质；以及第2喷嘴，对所述试样的旋转中心供给液体。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||