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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR CHIPS
摘要
申请公布号
JPS5456360(A)
申请公布日期
1979.05.07
申请号
JP19770122378
申请日期
1977.10.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOJIKI HITOMI
分类号
H01L21/60;H01L21/28
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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