| 摘要 |
对未具有气体导入孔的一般收纳容器、与具有气体导入孔的收纳容器内之气体，在短时间内施行置换，且将半导体晶圆表面洁净化。本发明系在由具有气体导入孔之收纳容器本体、与盖体所构成的半导体晶圆收纳容器内，施行气体置换的气体置换装置，为由：将气体导入于上述收纳容器本体中的气体导入手段；对上述收纳容器本体的气体施行排气的气体排气手段；以及透过化学吸附过滤器，使上述收纳容器本体的气体进行循环的气体循环手段；所构成。在未具有气体导入孔的收纳容器中设置有：在收纳容器安装手段内，将上述盖体开启的状态下，从收纳容器本体与盖体间之间隙，将气体导入的气体导入手段。 |
