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发明名称 MEASURING DEVICE FOR IMPURITY CONCENTRATION
摘要
申请公布号 JPS5547440(A) 申请公布日期 1980.04.03
申请号 JP19780120704 申请日期 1978.09.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO;NIPPON ATOMIC IND GROUP CO 发明人 OOSHIMA IWAO;OOTANI RIYOUICHI
分类号 G01N25/14;G01N25/04 主分类号 G01N25/14
代理机构 代理人
主权项
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