| 摘要 |
반사 레티클은 EUV 방사선의 흡수로부터 초래되는 패턴 왜곡을 실질적으로 저감시키거나 제거하는 한편, 업계 표준들과 일치하는 레티클 두께를 유지한다. 반사 레티클은, 극저팽창(ULE) 유리의 층 및 상기 ULE 유리보다 실질적으로 큰 열 전도율을 갖는 근청석의 기판을 포함한다. ULE 유리의 제 1 표면 상에는 알루미늄 층이 배치되고, ULE 유리의 제 2 표면은 실질적으로 편평하고 실질적으로 결함이 없도록 폴리싱된다. 반사 레티클을 형성하기 위하여, 근청석 기판은 양극 접합을 이용하여 알루미늄 층에 직접 접합될 수 있다. 대안적으로, 중간 제로더 층의 제 1 표면이 알루미늄 층에 접합되고, 제 2 알루미늄 층이 근청석 기판을 제로더 층의 제 2 표면에 양극 접합시키는 데 이용되어, 반사 레티클을 형성할 수도 있다. |
