| 摘要 |
<P>CET ACCELEROMETRE EST FABRIQUE D'UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR 24 DISPOSE EN SANDWICH ENTRE DEUX PLAQUES ISOLANTES 26, 28. UNE MASSE D'INERTIE 32 EST DECOUPEE PAR UNE GRAVURE SUR TROIS COTES DANS LE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR 24. SUR LE QUATRIEME COTE, ELLE EST ATTACHEE AU RESTE DU SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR PAR UNE CHARNIERE CONSTITUEE DE LAMES SOUPLES CROISEES QUI PERMETTENT LA FLEXION DANS UN SENS ET SONT RIGIDES DANS LES AUTRES DIRECTIONS. LA TECHNIQUE DE FABRICATION PERMET D'INTEGRER LES CIRCUITS ELECTRONIQUES D'ASSERVISSEMENT ET DE TRAITEMENT DU SIGNAL SUR LE MEME SUBSTRAT 24 QUE CELUI DANS LEQUEL EST FORMEE LA MASSE MOBILE 32.</P><P>L'INVENTION EST APPLICABLE NOTAMMENT AU GUIDAGE PAR INERTIE ET A LA NAVIGATION INERTIELLE.</P> |
