| 发明名称 |
METHOD OF FORMING VIA APERTURE WITHOUT FRAME BY EMPLOYING DIELECTRIC ETCHING STOPPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62265724(A) |
申请公布日期 |
1987.11.18 |
| 申请号 |
JP19870068167 |
申请日期 |
1987.03.24 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO <GE> |
发明人 |
MANJIN JIEROOMU KIMU;BURUUSU FUREDERITSUKU GURIFUINGU;DEBITSUDO UIRIAMU SUKERII |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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