| 发明名称 |
MASKING PROCESS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0090447(B1) |
申请公布日期 |
1987.12.23 |
| 申请号 |
EP19830200356 |
申请日期 |
1983.03.15 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
NICHOLAS, KEITH HARLOW |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/321;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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