发明名称 PORTE-OBJET UNIVERSEL POUR MICROSCOPES
摘要 <P>L'invention concerne un porte-objet universel 100 pour recevoir, à volonté, des objets en forme de plaque de différentes dimensions pour utilisation dans un microscope, comportant un cadre rectangulaire 15 à ouverture interne libre de passage auquel sont associées des butées échelonnées en gradins en forme d'escalier, les gradins formant une surface pour l'appui des objets et des moyens étant prévus pour délimiter l'appui.</P><P>Le cadre 15 présente une surface de contact 12 monobloc, circonvenante et placée plus bas, dans laquelle existent des orifices d'aspiration 16; 17 disposés dans un coin et reliés à un système à vide 14 tandis que pour la délimitation de l'appui est additionnellement prévue uniquement une barrette de butée déplaçable 19 ayant une surface d'appui 18.</P><P>L'invention est utilisable pour des microplaquettes (puces, tranches, disques, pastilles), des masques ou des masques à cadre à pellicule.</P>
申请公布号 FR2620538(A1) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 FR19880011381 申请日期 1988.08.30
申请人 LEITZ WETZLAR GMBH ERNST 发明人 WINFRIED KRAFT;VOLKER WURFEL;WOLFRAM STEBEL;HEINZ MARZHAUSER
分类号 H01L21/67;G02B21/26 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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