| 发明名称 |
REVETEMENT PROTECTEUR MULTICOUCHE POUR SUBSTRAT, PROCEDE DE PROTECTION DE SUBSTRAT PAR DEPOT PAR PLASMA D'UN TEL REVETEMENT, REVETEMENTS OBTENUS ET LEURS APPLICATIONS |
| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un revêtement protecteur, multicouche pour substrat et un procédé de protection de substrat par dépôt d'un revêtement inorganique amorphe continu et transparent comportant essentiellement du silicium, du carbone, de l'azote, de l'oxygène et de l'hydrogène à l'aide d'un plasma.</P><P>Elle concerne également l'application des revêtements selon l'invention à la protection des substrats, notamment contre les charges électrostatiques.</P>
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| 申请公布号 |
FR2631346(A1) |
申请公布日期 |
1989.11.17 |
| 申请号 |
FR19880006369 |
申请日期 |
1988.05.11 |
| 申请人 |
AIR LIQUIDE |
发明人 |
JEAN-MARIE GAUTHIER;CLAUDE BONET;FRANCOIS COEURET |
| 分类号 |
C03C17/34;C23C16/02;C23C16/30;G11B5/72;G11B7/24;G11B7/254;G11B7/257 |
主分类号 |
C03C17/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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