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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02116137(A) 申请公布日期 1990.04.27
申请号 JP19880268040 申请日期 1988.10.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI TOSHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/205;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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