| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING GAAS SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0381657(A) |
申请公布日期 |
1991.04.08 |
| 申请号 |
JP19890216816 |
申请日期 |
1989.08.23 |
| 申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
IKUWA MITSUAKI;YAMAMOTO HIROMASA |
| 分类号 |
G01N27/00;H01L21/205;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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