| 主权项 |
1﹒一静电夹头之电压印加方法,系由将定値之吸着电压VN印加至静电夹头电极,以吸着被吸着体之步骤,及其后,在被吸着体脱离之前,于一定时间内印加定値之残留吸着力消灭电压VR之步骤等所组成,该残留吸着力消灭电压VR跟上述吸着电压VN之极性相反,而其定値也要比吸着电压VN之电压値大者。2﹒如申请专利范围第1项所述之电压印加方法,其中,残留吸着力消灭电压VR所定之印加时间,系设定成与该消灭电压之印加电压値成反比者。3﹒如申请专利范围第2项所述之电压印加方法,其中,残留吸着力消灭电压VR之定値,系设定在前述吸着电压VN之定値的1﹒5-2倍范围内,而且该消灭电压VR之前述所定印加时间配合该消灭电压VR之设定电压値,设定在10─5秒之范围内者。4﹒如申请专利范围第1项所述之电压印加方法,其中,残留吸着力消灭电压VR于印加时,系利用慢慢昇压之方式将电压昇至某一定値者。5﹒一静电夹头之电压印加装置,包括:在静电夹头(1)上有一对输出负极与正极电压之出力端子(7.8),电压供源手段(14),介于上述静电夹头(1)与该电压供给源手段(14)之间,配合将印加至静电夹头之电压极性输入之电压印加控制信号之切换开关手段(15)输出选择性,及对上述电压供给源手段(14)指示所定之电压値,同时对上述开手段(15)输出之吸着电压印加控制信号,或者对残留吸着力消灭电压印加控制信号之印加电压控制手段(11)等所构成,前述开关手段(15)将输入之残留吸着力消灭电压之电压印加控制信号及吸着电压之电压印加控制信号,由一对出力端子(7.8)输出不同极性之电压,而残留吸着力消灭电压之设定电压値,要比吸着电压之设定电压値大者。6﹒如申请专利范围第5项所述之电压印加装置,其于前述印加电压控制手段(11)中,对于吸着电压値及吸着电压印加时间,收纳有相关最适当之残留吸着力消灭电压値及该消灭电压印加时间等资料者。图示简单说明第一图系与本发明有关之静电夹头电压印加装置之部件构造图;第二图、第三图系被吸着于静电夹头上之被吸着体之残留吸着力的测定结果示意图;第四图系单极形之静电夹头构造图。 |
