发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03131020(A) 申请公布日期 1991.06.04
申请号 JP19890270057 申请日期 1989.10.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIDA ATSUHIRO;MAMENO KAZUNOBU
分类号 H01L29/78;H01L21/265 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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