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发明名称 APPARATUS FOR MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH03271191(A) 申请公布日期 1991.12.03
申请号 JP19900070007 申请日期 1990.03.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKAMOTO MIKI;IGARASHI TAKESHI;YAMAMOTO TATSU
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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