发明名称 DISK PLANE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03293508(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900095501 申请日期 1990.04.11
申请人 RICOH CO LTD 发明人 WATASE KENTA
分类号 G01B11/26;G01B11/30;G11B7/26 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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