发明名称 BAKING DEVICE FOR CHARGED PARTICLE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0495395(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900204184 申请日期 1990.07.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IIDA TOSHIAKI
分类号 H05H7/00;H05H13/04 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
主权项
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