发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04133469(A) 申请公布日期 1992.05.07
申请号 JP19900256320 申请日期 1990.09.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI ATSUO;TAKEBAYASHI ETSUSHI
分类号 H01L21/8238;G05F3/24;G05F3/28;H01L27/02;H01L27/092;H01L29/861;H03F1/30 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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