发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04133469(A) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
申请号 |
JP19900256320 |
申请日期 |
1990.09.26 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAGUCHI ATSUO;TAKEBAYASHI ETSUSHI |
分类号 |
H01L21/8238;G05F3/24;G05F3/28;H01L27/02;H01L27/092;H01L29/861;H03F1/30 |
主分类号 |
H01L21/8238 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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