| 摘要 |
오버레이 계측 방법에 따르면, 제 1 구조물에 대한 제 1 정보를 획득한다. 상기 제 1 구조물 상에 제 2 예비 구조물을 형성한다. 상기 제 2 예비 구조물에 대한 제 2 정보를 획득한다. 상기 제 1 정보와 상기 제 2 정보를 합성하여, 상기 제 2 예비 구조물에 대한 공정을 통해 형성될 제 2 구조물이 상기 제 1 구조물 상에 중첩된 구조에 대한 가상 정보를 획득한다. 상기 가상 정보로부터 상기 제 1 구조물과 상기 제 2 구조물 간의 가상 오버레이를 계측한다. 따라서, 상부막에 대한 패터닝 공정 전에 가상 이미지로부터 상하부 패턴들 간의 오버레이를 정확하게 계측할 수가 있다. |
