| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF MONOMOLECULAR OR MONOATOMIC LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0545110(A) |
申请公布日期 |
1993.02.23 |
| 申请号 |
JP19910200611 |
申请日期 |
1991.08.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TODA TAKAO;KADO HIROYUKI;YOKOYAMA KAZUO;MAZAKI NORIO;MACHIDA KATSUNOSUKE |
| 分类号 |
G01B7/02;G01B7/34;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q60/10;G01Q60/24;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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