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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING CANTILEVER DRIVE MECHANISM, METHOD OF MANUFACTURING PROBE DRIVE MECHANISM, CANTILEVER DRIVE MECHANISM, PROBE DRIVE MECHANISM AND ELECTRONIC DEVICE WHICH USES THE SAME
摘要
申请公布号 CA2079249(A1) 申请公布日期 1993.04.04
申请号 CA19922079249 申请日期 1992.09.28
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAYAMA, MASARU;TAKAMATSU, OSAMU;YAGI, TAKAYUKI;YAMAMOTO, KEISUKE;KAWASAKI, TAKEHIKO;SHIMADA, YASUHIRO;SUZUKI, YOSHIO
分类号 G01B5/20;G11B9/00 主分类号 G01B5/20
代理机构 代理人
主权项
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