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发明名称 PROCESS FOR PURIFYING NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
摘要
申请公布号 EP0337294(B1) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19890106050 申请日期 1989.04.06
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC. 发明人 HARADA, ISAO;HOKONOHARA, HISASHI;YAMAGUTI, TOSHIAKI
分类号 C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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