| 发明名称 |
SURFACE MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING OBJECT UNDER IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05187864(A) |
申请公布日期 |
1993.07.27 |
| 申请号 |
JP19920003676 |
申请日期 |
1992.01.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HOSAKA SUMIO;KIKUKAWA ATSUSHI;HONDA YUKIO;KOYANAGI HAJIME;HOSOKI SHIGEYUKI;HASEGAWA TAKESHI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01Q30/04;G01Q30/16;G01Q60/08;G01Q60/12;G01Q60/24;G01Q60/30;G01Q60/32;G01Q60/40;G01Q60/50;G01Q60/56;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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