| 发明名称 |
A METHOD OF MANUFACTURING IGFETS HAVING MINIMAL JUNCTION DEPTH USING EPITAXIAL RECRYSTALLIZATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0227085(B1) |
申请公布日期 |
1993.08.25 |
| 申请号 |
EP19860117863 |
申请日期 |
1986.12.22 |
| 申请人 |
SGS MICROELETTRONICA S.P.A. |
发明人 |
MEDA, LAURA, PHYS. DR. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/20;H01L21/225;H01L21/3215;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/45;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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