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发明名称 Apparatus and method for fabricating a chirped grating in a surface emitting distributed feedback semiconductor laser diode device
摘要
申请公布号 IL104266(A) 申请公布日期 1994.11.28
申请号 IL19920104266 申请日期 1992.12.29
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 G02B5/18;G02B6/124;H01S5/00;H01S5/187;(IPC1-7):H01S3/085;H01L43/00 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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