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发明名称 ASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07263410(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940046822 申请日期 1994.03.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO HITOAKI;KANEKIYO TAKAMITSU;MITSUTA AKIHIKO;SHIMIZU FUMIO;TAKEI HIDENORI;NAWATA MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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