发明名称 基板支承用侧板及使用该侧板之基板箱
摘要 本发明之目的,在于提供一种基板箱及该箱之基板支承用侧板,其为,基板支承用侧板之宽度虽小但具有必要之强度,且可有效防止处理基板时之带电,同时,虽然带电但不会引起回路障碍,再者与基板摩擦亦不易产生摩耗粉等尘埃者。基板支承用侧板2,在构造上系有舌片状之棚架片22以所定之间距从背壁部21平行地突出,该棚架片22为愈接近其自由端愈向上方倾斜,该棚架片22之表面形成为其部较其两端部高少许之山形构造。又,材质上系以金属体 M做为骨架且背壁部21之至少前面侧及棚架片22为由样脂体R所形成,且在该树脂体R之中与基板0挡接部之至少一部为由发尘防止性树脂Rb形成之同时,树脂体R之发尘防止性树脂Rb外之部分系由配合导电性物质树脂Ra所形成。
申请公布号 TW260822 申请公布日期 1995.10.21
申请号 TW083110243 申请日期 1994.11.05
申请人 淀川化成股份有限公司 发明人 吉田俊雄
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1. 一种基板支承用侧板,其为架设于框架1而支承基板0用之基板支承用侧板2,其特征为,该基板支承用侧板2在构造上,有舌形状之棚架片22从背壁部21以所定之间距向基板箱内部侧平行突出,该棚架片22系愈接近其自由端愈向上方倾斜,该棚架片22之棚架表面形成为,其中央部较其两端侧高少许之山形构造,在材质上,系以金属体M做为骨架且背壁部21之至少前面侧及棚架片22为由树脂体R所形成,且在该树脂体R之中,与基板0挡接部分之至少一部分为由发尘防止性树脂Rb形成之同时,树脂体R之发尘防止性树脂Rb以外之部分系由配合导电性物质之树脂Ra所形成者。2. 如申请专利范围第1项之基板支承用侧板,其中,在背壁部21之中央纵方向设突条状之突出部3X,该突出部3X系用发尘防止性树脂Rb形成者。3. 如申请专利范围第1项之基板支承用侧板,其中,在棚架片22之山形构造之棚架表面之山脊部分设突条状之突出部3y,该突出部3y系用发尘防止性树脂Rb形成者。4.如申请专利范围第1项之基板支承用侧板,其中,在背壁部21上设置比成为基部之领域向前方突出少许之突出部3z,该突出部3z系用发尘防止性树脂Rb所形成者。5.如申请专利范围第1项之基板支承用侧板,其中,构成棚架片22之树脂体R系由发尘防止性树脂Rb所形成者。6. 如申请专利范围第1项之基板支承用侧板,其中,各段之背壁部21之表面为,其下方部分比其上方部分向前方突出之倾斜面者。7. 一种基板箱,其为,由框架1及基板支承用侧板2,2构成为箱形,配设在该箱形之一对互相对向之侧面之基板支承用侧板2,2上所对应之棚架片22,22之间隙收容基板0之基板箱中,其特征为,使用如申请专利范围第1项至第6项中任何一项记载之基板支承用侧板做为前述基板支承用侧板2者。图示简单说明:图1显示本发明基板支承用侧板2一例之斜视图。图2显示图1所示基板支承用侧板2之侧面图。图3显示本发明基板箱一例之侧面图。图4显示本发明基板支承用侧板2其他一例之斜视图。图5显示本发明基板支承用侧板2再其他一例之局部斜视图。图6显示图5所示基板支承用侧板2之宽度方向切开剖面图。图7显示本发明基板支承用侧板2再他一例之局部斜视图。图8显示图7所示基板支承用侧板2之宽度方向切开剖面图
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