发明名称 Lampentempervorrichtung und Verfahren
摘要
申请公布号 DE69116205(D1) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19916016205 申请日期 1991.04.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 SHIGA, NOBUO, C/O YOKOHAMA WORKS, SAKAE-KU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 H01L21/26;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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